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組分名稱及濃度范圍

平衡氣

CO

300-500ppm

N2或Ar

H2

80-1000ppm

N2或Ar

CO2

500-1000ppm

N2或Ar

CH4

1000ppm-1%

N2或Ar

C2H4

30-500ppm

N2或Ar

C2H6

30-500ppm

N2或Ar

C2H2

30-500ppm

N2或Ar